Loại bỏ tạp chất là công đoạn thiết yếu trong sản xuất chất bán dẫn. Bất kỳ hạt hoặc kim loại nào không được loại bỏ trong quá trình sản xuất đều có thể dẫn đến lỗi, thậm chí là thu hồi sản phẩm sau này. Đó là lý do tại sao bạn cần hiệu suất đã được chứng minh của các sản phẩm lọc 3M cho mọi giai đoạn trong quy trình sản xuất của mình..
Trong hơn 100 năm qua, 3M Purification đã không ngừng phát triển các sản phẩm lọc và tinh chế tiên tiến thông qua việc hợp tác với khách hàng để đáp ứng các nhu cầu luôn biến đổi của ngành sản xuất chất bán dẫn.
Nước Siêu Tinh Khiết (UPW) | Nước siêu tinh khiết (UPW) đóng vai trò thiết yếu trong sản xuất chất bán dẫn. UPW được sử dụng chủ yếu với hai mục đích đó là loại bỏ các tạp chất gây ra lỗi trong quá trình sản xuất và làm sạch bề mặt phôi bán dẫn sau khi tiếp xúc với hoá chất. Màng lọc và trao đổi khí của 3M Purification đóng vai trò quan trọng trong việc đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành công nghiệp chất bán dẫn và điện tử. Featured Products 3M™ High Flow Series Filter Cartridge 3M™ LifeASSURE™ EPF Series Filter Cartridge |
Đánh bóng cơ học và hóa học (CMP) | Đánh bóng cơ học hóa học (CMP) là quy trình làm phẳng bề mặt vật liệu bằng cách kết hợp dung dịch hóa học (có tính axit hoặc bazơ) chứa các hạt mài siêu nhỏ với lực tác dụng cơ học từ quá trình đánh bóng. Trong quá trình tạo lớp kim loại nhiều tầng, mỗi lớp kim loại mới được phủ lên sẽ làm khuyết điểm của lớp bên dưới trở nên nghiêm trọng hơn. CMP giúp cho các quy trình quang thạch tiếp theo diễn ra chính xác hơn. Lọc nước công nghiệp 3M cung cấp các giải pháp lọc để kiểm soát kích thước hạt trong dung dịch mài mòn sử dụng trong quá trình CMP. Điều này cho phép các nhà sản xuất chip tiếp tục thu nhỏ mạch điện cần thiết cho các thiết bị thế hệ mới. Featured Products |
Quang Thạch / Hóa Chất Độ Tinh Khiết Cao | Quang thạch là quy trình tạo ra các mạch điện trên bề mặt phôi bán dẫn (wafer) bằng cách sử dụng ánh sáng. Để đạt được mức độ mini hóa thiết bị ngày càng cao, việc loại bỏ các chất gây ô nhiễm hữu cơ không mong muốn, hạt và ion kim loại khỏi các hóa chất siêu tinh khiết đóng vai trò then chốt. Các sản phẩm lọc và tinh chế của Lọc công nghiệp 3M cho phép bạn giảm thiểu tối đa các chất gây ô nhiễm, đáp ứng nhu cầu sản xuất chất bán dẫn hiệu suất cao. Featured Products 3M™ NanoSHIELD™ Hollow Fiber Series Filter Cartridge |
Electrolyte Plating | Điện Giải Dung dịch mạ điện giải đòi hỏi kiểm soát chặt chẽ cả hạt và khí hòa tan để ngăn ngừa các khuyết tật và tạp chất trong lớp kim loại được phủ. Lọc công nghiệp 3M cung cấp các giải pháp lọc cho cả hạt và khí hòa tan để đáp ứng nhu cầu của quy trình mạ điện giải của bạn. Featured Products 3M™ LifeASSURE™ EPF Series Filter Cartridge 3M™ LifeASSURE™ EMC Series Filter Cartridge |
Hoá chất rửa sạch | Trong quá trình xử lý ướt, các thiết bị bán dẫn được nhúng, ngâm hoặc phun dung dịch nhiều lần. Ngay cả khi các bước làm sạch được thực hiện, lý do chính khiến thiết bị bị hỏng là do bề mặt wafer bị nhiễm bẩn. Khi các tính năng của thiết bị tiếp tục thu nhỏ, việc đảm bảo độ tinh khiết của axit, bazơ và dung môi được sử dụng trong quy trình sản xuất sẽ vẫn rất quan trọng. 3M cung cấp màng lọc phù hợp cho các ứng dụng hóa chất của bạn, từ hầu hết các axit và bazơ đến rượu và chất ăn mòn. Featured Products 3M™ NanoSHIELD™ Hollow Fiber Series Filter Cartridge 3M™ LifeASSURE™ EMC Series Filter Cartridge |
Xử lý nước thải | Sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi một lượng lớn hóa chất, điều này sẽ tạo ra một lượng lớn nước thải. Nhiều quy trình chế tạo khác nhau tạo ra các chất gây ô nhiễm nước thải đa dạng. Lọc công nghiệp 3M cung cấp các giải pháp lọc được thiết kế để giúp bạn lọc nước thải nhằm bảo vệ môi trường và đáp ứng các yêu cầu xả thải ngày càng nghiêm ngặt. Featured Products 3M™ High Flow Series Filter Cartridge 3M™ MicroKlean™ RT Series Filter Cartridge |
Kiểm soát khí hòa tan | Màng tiếp xúc Liqui-Cel™ 3M™ cung cấp giải pháp kiểm soát khí hòa tan hiệu quả với thiết kế nhỏ gọn. Thiết bị truyền khí này sử dụng công nghệ màng sợi rỗng, có khả năng bổ sung khí hoặc loại bỏ khí hòa tan và bong bóng khỏi dòng chất lỏng tương thích. Nhờ đó, Liqui-Cel™ giúp các cơ sở trên toàn thế giới cải thiện hiệu suất vận hành, nâng cao hiệu quả hoạt động và bảo vệ chất lượng sản phẩm. Featured Products |