Kiểm soát Khí Hòa Tan
Trong sản xuất chất bán dẫn, màn hình phẳng và các ngành công nghệ cao khác, khi kích thước linh kiện thu nhỏ, kích thước wafer (vỉ mạch) tăng lên và công nghệ hiển thị ngày càng tiên tiến, việc kiểm soát khí hòa tan đóng vai trò then chốt trong việc đảm bảo chất lượng nước siêu tinh khiết.
3M™ Liqui-Cel™ Membrane là công nghệ tách khí được sử dụng rộng rãi trong hệ thống xử lý nước cho ngành sản xuất chất bán dẫn và màn hình phẳng do tính hiệu quả, đơn giản và khả năng loại bỏ khí cao.
Ưu điểm so với tháp chân không thông thường: Hệ thống tách khí màng này có thể mở rộng. Khi nhu cầu về lượng nước hoặc thông số khí hòa tan giảm, có thể bổ sung thêm các bộ tiếp xúc vào hệ thống để đáp ứng các yêu cầu thay đổi.
3M™ Liqui-Cel™ Membrane cũng cho phép kiểm soát chính xác và nồng độ thấp các khí hòa tan trong nước siêu tinh khiết và các chất lỏng sử dụng trong các quy trình sản xuất khác tương thích.
3M Liqui-Cel Membrane Contactor — Cách thức hoạt động
Giải pháp tiên tiến giúp loại bỏ khí hòa tan ra khỏi nước.
Ứng dụng trong Kiểm soát khí hòa tan
Bộ tiếp xúc màng 3M™ Liqui-Cel™ cung cấp giải pháp kiểm soát khí hòa tan hiệu quả với thiết kế nhỏ gọn. Thiết bị sử dụng công nghệ màng sợi rỗng, có khả năng bổ sung hoặc loại bỏ khí hòa tan và bọt khí từ các dòng chất lỏng tương thích. Hơn 20 năm qua, bộ tiếp xúc màng đã thay thế tháp chân không, thiết bị tách khí cưỡng bức và chất loại bỏ oxy, giúp các cơ sở trên toàn thế giới nâng cao hiệu quả hoạt động, cải thiện hiệu suất và bảo vệ chất lượng sản phẩm. 3M cung cấp dịch vụ và hỗ trợ kỹ thuật chuyên môn, hợp tác chặt chẽ để đảm bảo các giải pháp đáp ứng yêu cầu và mong đợi của khách hàng.
Loại bỏ khí O₂ và CO₂ | 3M™ Liqui-Cel™ giúp loại bỏ O₂ trong nước xuống dưới 1 ppb và CO₂ hòa tan xuống 0,5 ppm. Mức độ oxy hòa tan thấp giúp bảo vệ sản lượng thành phẩm, trong khi mức CO₂ thấp có thể giúp cải thiện hiệu quả của khử điện tích (EDI) và các quá trình trao đổi ion khác. Màng tiếp xúc nhỏ gọn, hoạt động trực tiếp và không yêu cầu hóa chất trong vận hành. 3M Liqui-Cel Membrane Contactors đã thay thế tháp chân không, thiết bị tách khí cưỡng bức và chất khử oxy trên toàn thế giới trong hơn 20 năm. 3M hỗ trợ các dự án của bạn với dịch vụ và hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu bằng cách hợp tác chặt chẽ để đảm bảo các giải pháp đáp ứng các yêu cầu và kỳ vọng. Sản phẩm nổi bật |
| Mạ điện phân | Mạ điện phân đòi hỏi cả kiểm soát hạt và khí hòa tan nghiêm ngặt để ngăn ngừa các khuyết tật và tạp chất trong lớp kim loại được phủ. 3M cung cấp các giải pháp cho cả hạt và khí hòa tan để đáp ứng các nhu cầu cho quy trình điện phân của bạn. Sản phẩm nổi bật |
| Xử lý chất thải Amoniac | 3M Liqui-Cel Membrane Contactors được sử dụng trong nhiều ứng dụng truyền chất khí để loại bỏ khí hòa tan khỏi các dung dịch nước. Trong một ứng dụng cụ thể, khí amoniac được tách ra khỏi nguồn nước thải có hàm lượng amoniac cao và được hấp thụ trực tiếp vào dung dịch acid phản ứng. Loại bỏ và thu hồi amoniac đồng thời được thực hiện trong cùng một thiết bị. Quá trình này được gọi là TMCS (Hấp phụ chất hóa học qua màng lọc). Màng tiếp xúc Liqui-Cel™ 3M được sử dụng trong nhiều ứng dụng truyền chất khí để loại bỏ khí hòa tan khỏi các dung dịch nước. Trong quá trình TMCS, khí amoniac được tách ra khỏi dòng nước thải có nồng độ amoniac cao, khuếch tán qua thành của màng sợi rỗng và được hấp thụ trực tiếp vào dung dịch acid phản ứng. Điều này giúp loại bỏ và thu hồi amoniac đồng thời chỉ trong một thiết bị. Sản phẩm nổi bật 3M™ Liqui-Cel™ EXF Series Membrane Contactors for TransMembrane ChemiSorption (TMCS) |
| Nước chức năng | Ứng dụng được biết đến rộng rãi nhất của Màng tiếp xúc Liqui-Cel™ 3M là loại bỏ hiệu quả các khí hòa tan như oxy khỏi nước siêu tinh khiết xuống mức cực thấp. Màng vi lỗ trong Màng tiếp xúc Liqui-Cel 3M cũng hoạt động hiệu quả trong việc đưa các khí tinh khiết và hỗn hợp khí tùy chỉnh trở lại nước UPW (nước siêu tinh khiết). Đôi khi được gọi là "nước chức năng", một lượng nhỏ nhưng chính xác các khí như CO₂, NH₃, N₂ và H₂ có thể được thêm vào nước siêu tinh khiết để điều chỉnh độ dẫn điện hoặc giúp nâng cao hiệu quả làm sạch của UPW trong các bước sản xuất khác nhau. Màng tiếp xúc Liqui-Cel 3M cho phép kiểm soát việc bổ sung khí tự động, chính xác, đồng thời tránh tạo bọt khí và gần như không lãng phí. Sản phẩm nổi bật |