Sản Xuất Đĩa Bán Dẫn
Wafer silicon là nền tảng để tạo ra các mạch điện tử, vốn là một trong những thành phần thiết yếu của hầu hết các thiết bị điện tử. Hiệu suất lọc ngày càng được cải thiện để đáp ứng các yêu cầu khắt khe trong quy trình sản xuất chất bán dẫn và linh kiện điện tử hiện đại.
Sau đây là một ví dụ về việc lọc và kiểm soát khí hòa tan có thể cải thiện quy trình sản xuất wafer bán dẫn của bạn.
Ứng dụng trong Sản xuất Đĩa Bán dẫn
Hơn 100 năm qua, 3M đã hợp tác chặt chẽ với khách hàng để phát triển các sản phẩm lọc và tinh chế tiên tiến, đáp ứng những nhu cầu không ngừng thay đổi của ngành sản xuất linh kiện điện tử và bán dẫn.
3M™ Liqui-Cel™ EXF Series Membrane Contactor
| Nước siêu tinh khiết (UPW) | Nước siêu tinh khiết (UPW) đóng vai trò chính yếu trong việc loại bỏ các tạp chất gây ra lỗi trên bề mặt wafer và để rửa sạch wafer sau khi chúng tiếp xúc với hóa chất trong các quá trình khác nhau. Featured Products 3M™ High Flow Series Filter Cartridge 3M™ LifeASSURE™ EPF Series Filter Cartridge |
| Cán & Đánh bóng | Cán và đánh bóng là các quá trình nhằm làm phẳng các bề mặt không đồng đều bằng cách kết hợp dung dịch hóa chất (axit hoặc bazơ) chứa các hạt mài mòn siêu nhỏ với lực cơ học do dụng cụ đánh bóng tạo ra. Kiểm soát kích thước hạt trong dung dịch mài mòn là yếu tố then chốt để đạt được độ bóng bề mặt mong muốn. Featured Products |
| Hóa chất xử lý ướt | Trong quá trình xử lý ướt, đĩa được nhúng, ngâm hoặc phun các dung dịch. Khi kích thước các linh kiện tiếp tục thu nhỏ, việc đảm bảo độ tinh khiết của axit, bazơ và dung môi được sử dụng trong quy trình sản xuất sẽ luôn là yếu tố quan trọng. Featured Products 3M™ NanoSHIELD™ Hollow Fiber Series Filter Cartridge 3M™ LifeASSURE™ EMC Series Filter Cartridge |
| Chất làm mát trong quy trình xử lý | Chất làm mát trong quy trình xử lý được luân chuyển nhằm tản nhiệt cho các thiết bị. Biến động nhiệt độ, khí lôi cuốn, tạp chất và chất lượng nước kém có thể dẫn đến ăn mòn, bám cặn và các vấn đề khác gây cản trở khả năng làm mát hoặc giảm tuổi thọ của thiết bị. Xử lý nước đúng cách cho phép thiết bị làm mát hoạt động tối ưu trong quá trình sử dụng. Featured Products |
| Xử lý nước thải | Sản xuất đĩa bán dẫn cần sử dụng một lượng lớn nước và hóa chất, do đó chắc chắn sẽ thải ra một lượng lớn nước thải. Các bước xử lý khác nhau trong sản xuất tạo ra nhiều chất gây ô nhiễm có trong nước thải. Featured Products 3M™ High Flow Series Filter Cartridge 3M™ MicroKlean™ RT Series Filter Cartridge |
| Kiểm soát khí hòa tan | 3M™ Liqui-Cel™ Membrane Contactors cung cấp khả năng kiểm soát khí hòa tan hiệu quả với thiết kế nhỏ gọn. Thiết bị này có khả năng bổ sung khí hoặc loại bỏ khí hòa tan và bọt khí khỏi dòng chất lỏng tương thích, sử dụng công nghệ màng sợi rỗng hỗ trợ các cơ sở trên toàn thế giới cải thiện hiệu quả hoạt động, hiệu suất và bảo vệ chất lượng sản phẩm. Featured Products |